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滤器除去溶剂中的金属粉等杂质，用预热器加热溶剂使之汽化，通过分离槽除去不纯物。再生后的溶剂经凝气液化，暂时停留在溶剂回收槽后返回清洗槽。
一般的运行条件为压力50～100Torr 温度90～120℃，要得到纯度较好的回收品提高回收率可根据清洗液和加工油的性状改变上述条件。一般提高了回收品的纯度其回收率便降低，要得到高回收率其纯度就低。
应根据清洗槽、混入加工油的量、加工油的种类、清洗性能等的要求选择适当的蒸馏再生机。
一般作为废液排出的是混入的加工油量+α量，因此要选择适宜于可处理混有大量加工油清洗液的再生机。
还要注意，若无法清洗效果。一般选择每日可处理1次清洗槽内液体的蒸馏机。例如清洗槽+润湿槽内液体的总量为360L，工作时间为8h/日，则30L/h的蒸馏机清洗槽内液体理论上的清洗频度可达0.7次/日。若此时蒸馏机的回收率为95%，则30L/h×0.05×8h=12L/日即每日排出的废液量为12L，若每月工作25日，则需补充300L的清洗液。回收率为98%时，30L/h×0.02×8h=4.8L/日同样每月工作25日，需补充清洗液12L。回收率3%则损失的量差2.5倍，故需认真研究废液量（或补充液量）的差额。
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