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供应WZB-25真空泵替代好利旺真空泵厂家东莞

更新时间:2023-03-16 04:52:13 信息编号:a02d4h8a0338c7
供应WZB-25真空泵替代好利旺真空泵厂家东莞
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  • 无油泵,无油真空泵,干式真空泵,替代好利旺

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详情介绍

供应WZB-25真空泵替代好利旺真空泵厂家东莞

产品别名
WZB25,真空泵,无油泵,干式泵
面向地区
品牌
其它
用途
其它
泵轴位置
卧式
材质
铸铁
加工定制
驱动方式
电动
输送介质
其它
性能
自动
叶轮吸入方式
其它
真空度
中真空度
类型
气体传输泵
WZB25无油真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。 对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。 干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。东莞

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