罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域
的排气速度。
PRC系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。
承接爱发科干式泵维修型号：LR1200 LR1800 LR3600 PRC-003A PRC-006A PRC-012A
PRC-018A PDR-090C
特点
无油
泵壳室无润滑油，水蒸气、溶剂等的蒸汽稳定。
采用罐式马达
采用罐式马达、可以没有大气压/真空的机械。不用担心漏油、可以在清洁的环境中使用。
耐腐蚀性的表面处理
主要部品表面实施了硬度高耐腐蚀性的耐酸铝处理、抑制了泵内部的腐蚀伤害。
排气时间缩短有效的大气压驱动型（选项：变换器）
可以和粗制泵同时启动，比标准型的排气时间更短。
用途
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冻结干燥、真空脱气
分析机器、检漏装置
气体置换、充填、真空断热
热处理炉、溶解炉
其他各种真空装置
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ULVAC爱发科干式泵PDR-090C真空泵维修PRC系列罗茨泵
销售热线：/ 李小姐
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